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八氟環(huán)丁烷/C4F8
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八氟環(huán)丁烷/高純八氟環(huán)丁烷/C4F8

八氟環(huán)丁烷/高純八氟環(huán)丁烷/C4F8

發(fā)布日期:2017-03-20 12:37:00

簡要描述:

包裝:采用44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到2-8L的氣瓶中。
用途:用作半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的蝕刻或清潔氣體、制冷劑等。
理化性質(zhì): 八氟環(huán)丁烷(C-318)是一種無色無味不可燃的氣體。沸點:-5.85℃,熔點:-41.4℃,液體密度(25℃):1.62g/cm3。

詳細(xì)介紹

八氟環(huán)丁烷 (C4F8)

 

項目名稱

純度指標(biāo)(%)
八氟環(huán)丁烷

≥99.999

雜質(zhì)含量(ppm)

 

氟化氫(HF)

≤1
水(H2O)

≤2

氮氣(N2)

≤1

氧氣(O2)

≤3
其他氟化物(Other Fluoride)

≤5

 

包裝:采用44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到2-8L的氣瓶中。

 

用途:用作半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的蝕刻或清潔氣體、制冷劑等。

 

理化性質(zhì):  八氟環(huán)丁烷(C-318)是一種無色無味不可燃的氣體。沸點:-5.85℃,熔點:-41.4℃,液體密度(25℃):1.62g/cm3。

 

注意事項:

鋼瓶閥門關(guān)緊后再蓋緊悶頭和鋼瓶蓋,以防泄漏。鋼瓶運輸中應(yīng)避免震蕩,鋼瓶堆放在通風(fēng)、干燥、安全處,并遠(yuǎn)離熱源。當(dāng)該產(chǎn)品濃度達(dá)到使空氣中的氧含量減少至低于19.5%是,會導(dǎo)致窒息;救援人員要佩帶自給式呼吸器;接觸該產(chǎn)品會導(dǎo)致凍傷。

 


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