三氟化氮 （NF3)
項目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | |
三氟化氮 | ≥99.99 | |
雜質(zhì)含量（ppm)
| 氮氣（N2） | ≤5 |
氧氣+氬氣（O2+Ar） | ≤3 | |
二氧化碳（CO2） | ≤5 | |
一氧化碳（CO) | ≤1 | |
| 四氟化碳（CF4) | ≤40 | |
| 水（H2O） | ≤1 | |
| 六氟化硫（SF6） | ≤5 | |
| 氟化氫（HF） | ≤1 | |
| 氧化亞氮（N2O） | ≤5 | |
包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途：NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。
理化性質(zhì): 在常溫常壓下 , 三氟化氮為無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的液化氣體，高純?nèi)獛缀鯖]有氣味，它是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑，大約在 350 ℃左右可離解成為二氟化氮和氟氣，故其反應(yīng)性相似于氟。
注意事項：
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機(jī)運輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
2.儲存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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