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三氟甲烷/高純?nèi)淄?CHF3

三氟甲烷/高純?nèi)淄?CHF3

發(fā)布日期:2017-03-20 13:15:00

簡要描述:

包裝:采用40L、47L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途:用作電子工業(yè)等離子體化學蝕刻劑、低溫(-100℃)制冷劑及氟有機化合物的原料。
理化性質(zhì): 是一種無色、微味,不導電的低毒類氣體,是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,對腦神經(jīng)有損害。液體接觸時可能引起凍傷。

詳細介紹

三氟甲烷 (CHF3)

 

項目名稱

純度指標(%)
三氟甲烷

≥99.999

≥99.9

雜質(zhì)含量(ppm)

 

水(H2O)

≤3≤10
氧氣(O2)

≤2

-

氮氣(N2)

≤5-
二氧化碳(H2SiF6)

≤3

≤100

酸度(Acidity)

≤0.1

≤1

 

包裝:采用40L、47L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。

 

用途:用作電子工業(yè)等離子體化學蝕刻劑、低溫(-100℃)制冷劑及氟有機化合物的原料。

 

理化性質(zhì): 是一種無色、微味,不導電的低毒類氣體,是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,對腦神經(jīng)有損害。液體接觸時可能引起凍傷。

 

注意事項:儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易(可)燃物分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。

 


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